產品中心
首頁 ? 產品中心 ? LED襯底及窗口片設備 ? 泡生法藍寶石晶體生長爐
設備用途
LED襯底，窗口材料，手機屏，軍工領域，智能設備，大規模集成電路SOI 和SOS等等。
設備原理
泡生法：在真空環境中，通過電阻加熱將三氧化二鋁原料熔化，通過籽晶引導，采用精密上稱重技術進行微量提拉生長優質光學級藍寶石單晶。
產品特點：
1、PLC全自動操作系統
X2技術平臺，晶體生長過程（除引晶外）實現全自動化智能操作，生長條件可高度復制；能抗干擾自動調節功率，保證晶體穩定性，實現人機界面控制系統與工藝緊密結合。
2、精密提拉旋轉機構
專利設計，控制精度高，傳動平穩，抗干擾能力強，利于晶體生長。
3、高穩定性熱場
精確的溫度曲線控制，先進模擬軟件設計，保證原材料純度，熱變形小，使用壽命長。
4、高效水冷系統
先進的設計制造工藝，爐體冷卻效果好，震動小。
5、PAC全自動操作程序
觸摸屏操作，人機界面控制系統與工藝緊密結合，可遠程控制，信息存儲、分析、列表。
產品優勢：
1、縮短生長周期，比同類產品周期縮短2-3天。
2、優異的晶體質量，達到光學等級以上。
3、低能耗
設備及熱場穩定性高，重復型號，損耗小，且設備能耗低于同類產品20%以上。
4、高取材率
成熟的設備制造技術和長晶工藝，確保晶體取材率≥70%。
5、研發優勢
規?；难邪l基地，及時進行技術驗證及創新，確保產品及技術的成熟性和前沿性。
6、技術培訓
擁有研發基地，可驗證長晶，為客戶提供專業技術培訓、設備操作和工藝指導。
7、安全性高
配置真空安全保護裝置，安全性能更高。
高效的熱場模擬與設計
大幅降低能耗
80kg級長晶成本構成
120kg級長晶成本構成
技術指標：
|
|
TDR85K-II |
TDR120K |
|
晶體生長周期 |
18-20天 |
20-25天 |
|
晶體質量 |
X射線雙晶搖擺半峰寬＜10”；平均位錯密度為1×103個/cm2 |
|
|
晶體最大直徑 |
300mm |
350mm |
|
設備能耗 |
＜2萬度 |
＜3萬度 |
|
設備損耗 |
主要部件使用壽命2年以上 |
|
|
取材率（2吋） |
＞3200mm |
＞5800mm |
|
長晶成本 |
¥3.46萬元/爐 |
¥5.38萬元/爐 |
|
晶棒成本（2吋） |
$1.77/mm |
$1.52/mm |
高取材率
|
晶體規格 |
80kg級（φmax300×H350mm ） |
120kg級（φmax350×H400mm ） |
|
|
4"晶棒 |
|
中國·沈陽市渾南新區新源街1號
024-23826855
微信掃一掃
關注沈陽科儀
? 2015-2019 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司 版權所有。遼ICP備15011951號-1
