?? 公司簡介 - 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
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關于科儀

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中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司(以下簡稱 “公司”)創建于1958年,前身為中國科學院沈陽科學儀器研制中心。園區位于遼寧省沈陽市渾南區,占地面積110畝,建筑面積3.5萬平方米。多年來,公司專注于高真空、超高真空、潔凈真空技術的研究和發展,是我國集成電路裝備和真空儀器設備的研制、生產基地,先后組建“國家分子束外延技術試驗基地”、“國家多功能電子能譜儀生產基地”、“國家真空儀器裝置工程 技術研究中心”和“真空技術裝備國家工程實驗室”等科研平臺 。

 公司主要從事干式真空泵、真空儀器設備的研發、生產和銷售,并提供相關技術服務。主要包括系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、大科學裝置、真空薄膜儀器設備和新材料制備設備等。公司承擔了國家“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”(“02專項”)、“高檔數控機床與基礎制造裝備”(“04”專項)、“國家重點研發計劃”等國家級科技專項,并通過自主研發創新實現了國產干式真空泵在集成電路領域的批量應用,打破了歐美及日本企業對同類產品的長期壟斷,實現了關鍵裝備的進口替代。先后多次獲得國家科技進步獎,中國科學院及省部級科技進步獎五十余項,,擁有專利七十項,被認定為國家高新技術企業、國家知識產權優勢企業、遼寧省技術創新示范企業、遼寧省創新型中小企業、遼寧省省級企業技術中心、沈陽市科技領航型企業、沈陽市科技小巨人企業等。 

公司設立有2個全資子公司——上海上凱儀真空技術有限公司、中科儀(南通)半導體設備有限責任公司;1個分公司——中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司上海分公司。

 

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