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新聞公告
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司(以下簡稱公司) 是一家集真空儀器裝置研發、生產、銷售、服務為一體的高科技企業 其前身是中科院直屬事業單位,創建于1958年,2001年整體轉制為有限責任公司,
小勝憑智,大勝靠德。
產品中心
干式螺桿真空泵
無油雙側渦旋干泵
JGH-5000A
JGH-4200A
G17-836
碳化硅單晶爐系統TDL60P
碳化硅單晶爐系統TDL85P
泡生法藍寶石晶體生長爐
盲板法蘭
無氧銅密封墊
系列玻璃觀察窗
陶瓷封接組件(高壓電極 5-20KV/5-80A)
真空互聯
高低溫環境模擬真空設備
真空互聯裝置
同步輻射-前端區
EB900型高真空電子束蒸發薄膜沉積系統
FJL560磁控濺射與離子束系統
DZ450熱阻蒸發系統
PECVD400化學氣相沉積系統
線列式PECVD等離子體化學氣相沉積鍍膜設備
Cluster PECVD等離子體化學氣相沉積鍍膜設..
FHL-600型硬碳膜制備設備
超高真空退火爐
VIM500高真空感應熔煉及澆鑄系統
DHN400高真空定向凝固系統
金屬納米粉連續制備設備
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